精密温度調整機能付クリーンブース：アイテックス　　ＣＳＣ４７４７Ｃ

温度23度±1℃、湿度50%±2%、クラス10000 仕様のイエロークリーンブースです。フォトリソグラフィーに関する作業（基板洗浄、各種レジスト塗布、露光、現像、アッシング、エッチングなど）に利用可能。