3次元光学ﾌﾟﾛﾌｧｲﾗｰｼｽﾃﾑ：ZYGO　Nexview

"非接触で3次元形状測定、表面粗さ測定を行う装置です。□46.5o範囲の3次元形状測定や、Ra0.1nm以下の超精密面の測定、透明膜の厚さ測定(1μm以上)など。X-Yステージ可動範囲200o×200o。Z軸可動範囲100o "