原子間力顕微鏡装置:セイコーインスツルメント SPA-400
最大試料サイズ:φ35mm厚み10o、スキャナー走査範囲:150μm×150μ(高さ5μm)、20μm×20μm(高さ1.5μm)、AFMモード、DFMモード