局所排気装置：ﾀﾞﾙﾄﾝ　ｽｸﾗﾊﾞｰﾕﾆｯﾄ横置き型ｴｯﾁﾝｸﾞﾌﾞｰｽ　1200o

強酸対応可能なPVC製ドラフトチャンバー、フォトリソグラフィーのエッチング工程などに可能。