マスクレス露光装置:ナノシステムソリューションズ DL-1000/IMC
PC(Personal Computer)上で作画した任意のパターンデータを入力することでフォトマスクを用いることなく直接基板上の感光性樹脂材料(フォトレジスト)に転写できる露光装置。405nmLED、1W/cm2 露光範囲100o×100o