非接触三次元測定装置：三鷹光器 NH-3SP

レーザープローブ方式の3次元測定器。各測定点でのオートフォーカス位置を読み取ることで3次元形状、断面形状、面粗さ、平面度測定などを行います。最大測定範囲は、150mm×150mm、高さ110mm。オートフォーカス再現性0.01μm以下。