フォトリソ装置：ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰMS-A100　ﾏｽｸｱﾗﾅｲﾅｰMA-10

スピンコーター、マスクアライナー、ホットプレート、電気炉、プラズマクリーナー、ドラフト等を利用して、各種レジスト塗布、露光、現像などのリソグラフィー作業が可能。 スピンコーター塗布可能基板サイズφ50o、マスクアライナー基板サイズφ4インチまで、フォトマスクサイズ　3×3インチ、4×4インチ、２５０W水銀灯