3D測定顕微鏡：オリンパス STM6DF

測定範囲X：150mm、Y：100mm、Z：120mm。XYZ位置カウンタ0.1μmまで表示。測定対物レンズ×５、×10、×20、×50、×100　ノルマルスキー微分干渉観察可能。フォーカス合成、寸法測定ソフト搭載