微弱な振動を、精密に起こす

 HDDのキャビネットやヘッド移動に用いられるVoiceCoilMotorを応用した高精度1軸ステージと、リニアアンプを組み合わせ、微弱な振動を発生する装置。最大ストローク±3.5mm、位置分解能0.1μm、繰り返し周波数20Hz以上。

VoiceCoilMotorステージによる起振装置