硬い基板を曲げる

 世の中には樹脂製の基板を歪ませることで物理特性を計測するプローブは存在したが、STOのような硬い基板に歪みを印加する機構を備えたプローブがなかったので、設計・製作を行った。

FIB微細加工装置用回転機構