マイクロ加工に挑む!

 マイクロ流体デバイス、微細加工、その他のマイクロ加工の依頼が急増し、それに応えるために精密フライス装置T号機を製作した。このT号機 を使用して、マイクロ加工を行いその過程において、いくつかの改良案が出た。そこで、T号機を改良して、さらに高効率、高精度のマイクロ加工 が行えるU号機の製作を行った。

FIB微細加工装置用回転機構