X線吸収分光実験用マイクロ流路

流路部にSiNメンブレンを張り合わせて使用するための、溝幅、深さともに50μmのPDMS製マイクロ流路を製作した。液導入部はPDMSに張り合わせたガラス基板上にPEEK製通液チューブを接着した。

X線吸収分光実験用マイクロ流路