Ge基板上にSU-8でパターニング

 温度変化による水の遠赤外スペクトルを測定するために使用する液体セル。Ge基板上にフォトレジストSU-8でパターニングすることで7μmの段差を製作した。

温度可変遠赤外吸収セル(Ge)