超伝導転移温度11Kを確認

 アルミナ製高圧アンビルに対して、金属試料と共鳴するマイクロ波を発生させるためのミアンダ(蛇行)パターンを窒化ニオブで製作した。アルミナには表面粗さが小さく気孔も少ない透光性アルミナを使用。また、窒化ニオブ薄膜には超伝導転移が要求されており、他機関でのDCマグネトロンスパッタにより超伝導転移温度11Kを確認した。窒化ニオブパターンの最小幅は5μm、最少ギャップは2.1μm。

高圧アンビルへの窒化ニオブパターニング