t100nm SiNメンブレン上へパターニング

 放射光を用いた顕微XAFS測定で触媒粒子を探すための目印として、厚さ100nmのSiN(チッ化シリコン)メンブレン上に、幅5μm, 間隔100μmの白金格子パターンをリソグラフィで製作した。

触媒粒子位置出し用白金格子パターン