ナノワイヤー成長用基板

 有機結晶を成長させるための白金電極として、20mm角のテンパックスガラス基板上に分子研のロゴマークやIMSの文字をつなげたパターンを製作した。ロゴマークや文字はイラストレータからCADデータに変換した。また、高分解能露光を行うことによって、数umの滑らかな円弧のパターンも製作できた。

ナノワイヤー成長用基板