最小線幅 2.6μmのゾーンプレートを製作

 市販のSiNメンブレンチップにおけるSiNメンブレン(□1(mm)×t100(nm))上に、X線を集光するための同心円状のパターンをAu(t100nm)で製作。外側にいくほど線幅は細く、最小線幅は2.6μm(設計値)。

ゾーンプレート