装置使用料

番号 装　置　名　称 １時間当たりの装置の使用料

１

電子ビーム描画装置
エリオニクス　ELS-G100

２３，４００円／時

２

小型２源RFスパッタ装置（デポダウン式）
クライオバック　RSP-4-RF3×２

９，２００円／時

３

NCフライス　マキノ　AEV-74

７，７００円／時

４

CNC旋盤　マザック　SQT100MY

１９，０００円／時

５

ワイヤー放電加工機　ファナック α‐C400iB

１４，６００円／時

６

５軸同時加工機　ファナック　α‐D21LIB5

１６，５００円／時

７

工作加工機械類　放電加工機　SODICK　A35R

３，０００円／時

８

マシニングセンター　マキノ　BN5－85A6

４，６００円／時

９

３D測定顕微鏡　オリンパス　STM6DF

１，７００円／時

１０

走査型電子顕微鏡　キーエンス　VE8800

８，１００円／時

１１

非接触3次元測定装置　三鷹　NH-3SP

１４，５００円／時

１２

プリント基板加工機 ACCURATE A427A

６００円／時

１３

オシロスコープ　岩通　DS－5354

２００円／時

１４

ファンクション・ジェネレータ　Tektronix　AFG3251

２００円／時

１５

卓上NCフライス加工機　オリジナルマインド　SR200

１００円／時

１６

レーザーマーカー　Panasonic　LP-GS051-L

４００円／時

１７

ＬＣＲメータ　NF　ZM2353

３００円／時

１８

ロジックアナライザー　テクトロニクス　TLA5201

２，７００円／時

以下、ナノプラット事業の一環として管理する装置

１９

３次元光学プロファイラー
ZYGO Nexview

（成果公開）
４，４００円／時
（成果非公開）
８，７００円／時

２０

マスクレス露光装置
NanoSystem Solutions DL-1000
（付属装置）
スピンコーター(ミカサ)MS-A100
マスクアライナー(ミカサ)MA-10

（成果公開）
３，１００円／時
（成果非公開）
６，１００円／時

技術支援料

注 : 「３次元光学プロファイラーZYGO　Nexview」及び「マスクレス露光装置 NanoSystem　Solutions　DL-1000」にかかる技術支援料については、成果公開を行う場合は２分の１とする。

区分 １時間当たりの技術支援料

技術開発

１３，２００円／時

設計製作

１０，８００円／時

技術補助

５，６００円／時