装置使用料

番号 装 置 名 称 1時間当たりの装置の使用料

電子ビーム描画装置
エリオニクス ELS-G100

23,400円/時

小型2源RFスパッタ装置(デポダウン式)
クライオバック RSP-4-RF3×2

9,200円/時

NCフライス マキノ AEV-74

7,700円/時

CNC旋盤 マザック SQT100MY

19,000円/時

ワイヤー放電加工機 ファナック α‐C400iB

14,600円/時

5軸同時加工機 ファナック α‐D21LIB5

16,500円/時

工作加工機械類 放電加工機 SODICK A35R

3,000円/時

マシニングセンター マキノ BN5-85A6

4,600円/時

3D測定顕微鏡 オリンパス STM6DF

1,700円/時

10

走査型電子顕微鏡 キーエンス VE8800

8,100円/時

11

非接触3次元測定装置 三鷹 NH-3SP

14,500円/時

12

プリント基板加工機 ACCURATE A427A

600円/時

13

オシロスコープ 岩通 DS-5354

200円/時

14

ファンクション・ジェネレータ Tektronix AFG3251

200円/時

15

卓上NCフライス加工機 オリジナルマインド SR200

100円/時

16

レーザーマーカー Panasonic LP-QS051-L

400円/時

17

LCRメータ NF ZM2353

300円/時

18

ロジックアナライザー テクトロニクス TLA5201

2,700円/時

以下、ナノプラット事業の一環として管理する装置

19

3次元光学プロファイラー
ZYGO Nexview

(成果公開)
4,400円/時
(成果非公開)
8,700円/時

20

マスクレス露光装置
NanoSystem Solutions DL-1000
(付属装置)
スピンコーター(ミカサ)MS-A100
マスクアライナー(ミカサ)MA-10

(成果公開)
3,100円/時
(成果非公開)
6,100円/時

技術支援料

注 : 「3次元光学プロファイラーZYGO Nexview」及び「マスクレス露光装置 NanoSystem Solutions DL-1000」にかかる技術支援料については、成果公開を行う場合は2分の1とする。

区分 1時間当たりの技術支援料

技術開発

13,200円/時

設計製作

10,800円/時

技術補助

5,600円/時