原則として、使用料は民間企業の2分の1とする。

装置使用料

番号 装置名称 1時間当たりの装置の使用料

別記様式第1号による申請

小型2源RFスパッタ装置(デポダウン式)
クライオバック RSP-4-RF3×2

4,600円/時

NCフライス マキノ AEV-74

3,850円/時

CNC旋盤 マザック SQT100MY

9,500円/時

ワイヤー放電加工機 ファナック α‐C400iB

7,300円/時

5軸同時加工機 ファナック α‐D21LIB5

8,250円/時

工作加工機械類 放電加工機 SODICK A35R

1,500円/時

マシニングセンター マキノ BN5-85A6

2,300円/時

3D測定顕微鏡 オリンパス STM6DF

850円/時

走査型電子顕微鏡 キーエンス VE8800

4,050円/時

10

非接触3次元測定装置 三鷹 NH-3SP

7,250円/時

11

プリント基板加工機 ACCURATE A427A

300円/時

12

オシロスコープ 岩通 DS-5354

100円/時

13

ファンクション・ジェネレータ Tektronix AFG3251

100円/時

14

卓上NCフライス加工機 オリジナルマインド SR200

50円/時

15

レーザーマーカー Panasonic LP-GS051-L

200円/時

16

LCRメータ NF ZM2353

150円/時

17

ロジックアナライザー テクトロニクス TLA5201

1,350円/時

以下、マテリアル事業の一環として管理する装置(別記様式第2号または3号による申請)

18

3次元光学プロファイラー
ZYGO Nexview

4,350円/時

19

マスクレス露光装置
ナノシステムソリューションズ DL-1000
(付属装置)
スピンコーター(ミカサ)MS-A100
段差計 KLA-Tencor P7

3,050円/時

20

電子ビーム描画装置 エリオニクス ELS-G100

11,700円/時

技術支援料

区分 1時間当たりの技術支援料

技術開発

6,600円/時

設計製作

5,400円/時

技術補助

2,800円/時