原則として、使用料は民間企業の２分の１とする。

装置使用料

番号 装　置　名　称 １時間当たりの装置の使用料

１

電子ビーム描画装置
エリオニクス　ELS-G100

１１，７００円／時

２

小型２源RFスパッタ装置（デポダウン式）
クライオバック　RSP-4-RF3×２

４，６００円／時

３

NCフライス　マキノ　AEV-74

３，８５０円／時

４

CNC旋盤　マザック　SQT100MY

９，５００円／時

５

ワイヤー放電加工機　ファナック α‐C400iB

７，３００円／時

６

５軸同時加工機　ファナック　α‐D21LIB5

８，２５０円／時

７

工作加工機械類　放電加工機　SODICK　A35R

１，５００円／時

８

マシニングセンター　マキノ　BN5－85A6

２，３００円／時

９

３D測定顕微鏡　オリンパス　STM6DF

８５０円／時

１０

走査型電子顕微鏡　キーエンス　VE8800

４，０５０円／時

１１

非接触3次元測定装置　三鷹　NH-3SP

７，２５０円／時

１２

プリント基板加工機 ACCURATE A427A

３００円／時

１３

オシロスコープ　岩通　DS－5354

１００円／時

１４

ファンクション・ジェネレータ　Tektronix　AFG3251

１００円／時

１５

卓上NCフライス加工機　オリジナルマインド　SR200

５０円／時

１６

レーザーマーカー　Panasonic　LP-GS051-L

２００円／時

１７

ＬＣＲメータ　NF　ZM2353

１５０円／時

１８

ロジックアナライザー　テクトロニクス　TLA5201

１，３５０円／時

１９

３次元光学プロファイラー
ZYGO Nexview

４，３５０円／時

２０

マスクレス露光装置
NanoSystem Solutions DL-1000
（付属装置）
スピンコーター(ミカサ)MS-A100
マスクアライナー(ミカサ)MA-10

３，０５０円／時

技術支援料

区分 １時間当たりの技術支援料

技術開発

６，６００円／時

設計製作

５，４００円／時

技術補助

２，８００円／時