原則として、使用料は民間企業の2分の1とする。
装置使用料
番号 | 装置名称 | 1時間当たりの装置の使用料 |
---|---|---|
別記様式第1号による申請 |
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1 |
小型2源RFスパッタ装置(デポダウン式) |
4,600円/時 |
2 |
NCフライス マキノ AEV-74 |
3,850円/時 |
3 |
CNC旋盤 マザック SQT100MY |
9,500円/時 |
4 |
ワイヤー放電加工機 ファナック α‐C400iB |
7,300円/時 |
5 |
5軸同時加工機 ファナック α‐D21LIB5 |
8,250円/時 |
6 |
工作加工機械類 放電加工機 SODICK A35R |
1,500円/時 |
7 |
マシニングセンター マキノ BN5-85A6 |
2,300円/時 |
8 |
3D測定顕微鏡 オリンパス STM6DF |
850円/時 |
9 |
走査型電子顕微鏡 キーエンス VE8800 |
4,050円/時 |
10 |
非接触3次元測定装置 三鷹 NH-3SP |
7,250円/時 |
11 |
プリント基板加工機 ACCURATE A427A |
300円/時 |
12 |
オシロスコープ 岩通 DS-5354 |
100円/時 |
13 |
ファンクション・ジェネレータ Tektronix AFG3251 |
100円/時 |
14 |
卓上NCフライス加工機 オリジナルマインド SR200 |
50円/時 |
15 |
レーザーマーカー Panasonic LP-GS051-L |
200円/時 |
16 |
LCRメータ NF ZM2353 |
150円/時 |
17 |
ロジックアナライザー テクトロニクス TLA5201 |
1,350円/時 |
以下、マテリアル事業の一環として管理する装置(別記様式第2号または3号による申請) |
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18 |
3次元光学プロファイラー |
4,350円/時 |
19 |
マスクレス露光装置 |
3,050円/時 |
20 |
電子ビーム描画装置 エリオニクス ELS-G100 |
11,700円/時 |
技術支援料
区分 | 1時間当たりの技術支援料 |
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技術開発 |
6,600円/時 |
設計製作 |
5,400円/時 |
技術補助 |
2,800円/時 |