クロムのスパッタ成膜で深さ1μmの流路を製作

 温度変化による水の遠赤外スペクトルを測定するために使用するシリコン製液体セル。シリコン基板上に、スパッタで厚さ1μmのクロムを成膜することで、深さ1μmの流路を製作した。

温度可変遠赤外吸収セル