イベント
「微細加工に関する技術サロン会」
開催要領 |
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| 日時 | 平成25年11月21日（木）、22（金） |
| 会場 | 分子科学研究所 研究棟2階 201室 |
| 聴講料 | 無料 |
| 事前申込 | 不 要 |
プログラム |
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| 1日目 | |
| 「先端EBリソグラフィ技術」 田口佳男 （株式会社エリオニクス） |
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| 「半導体MEMSプロセス技術センターにおける最近の技術開発の状況について」 松谷晃宏 （東京工業大学 技術部 半導体MEMSﾌﾟﾛｾｽ技術ｾﾝﾀｰ センター長） |
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| 「走査型透過X線顕微鏡を用いた微細化学状態観察法の現状」 大東琢治（分子科学研究所 UVSOR 助教） |
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| 「高周波共鳴用窒化二オブによるミアンダパターンの製作 高田紀子（分子科学研究所 装置開発室） |
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| 「電子線リソグラフィ一事例」 大西広 北海道大学 電子科学研究所技術部 |
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| 2日目 | |
| 「GFISによる微細加工」 赤堀誠志（北陸先端科学技術大学院大学 准教授） |
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| 「微細加工とナノマニピュレーション」 生田竜也 九州大学・工学府 航空宇宙工学専攻 技術専門職員 |
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| 「EDXにおけるCu試料中の電子侵入深さ推定のための多層膜構造の成膜」 佐藤美那（東京工業大学 技術部 半導体MEMSプロセス技術センター） |
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| 「マイクロ流路作製の研修とその後の取り組みについて」 今村逸子 北海道大学 電子科学研究所技術部 |
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| 「ガラスナノインプリント技術の応用」 笠晴也（北海道大学 電子科学研究所 技術部） |
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