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イベント

「微細加工に関する技術サロン会」

 分子科学研究所装置開発室では、機械加工を基盤として数々の実験機器の製作を行ってきました。近年、研究者からの製作依頼において、機械加工では難しい微細な構造を必要とするデバイス製作の依頼が増えてきました。その対応のためフォトリソグラフィを中心とした微細加工への取り組みを始め、ナノインプリント用モールドやマイクロミキサーなどの製作を行ってきました。さらに今後も微細な構造を必要とする製作依頼が増えると予想され、微細加工技術のレベルアップに取り組んでいるところです。本会では、各研究機関において微細加工に携わっている技術者および研究者をお招きし、現在取り組んでいる技術に関する紹介とそれに対する意見交換を行い、微細加工に関する技術および交流を深めたいと思います。

開催要領

日時 平成27年3月19日(木)、20(金) 午後2時から
場所 分子科学研究所 研究棟2階 201室
聴講料 無 料
事前申込 不 要

プログラム

一日目
14:00-15:00
「微細加工技術を用いたX線光学素子開発」
竹中久貴 (株式会社トヤマ X線光学・加速器タスクフォースマネージャー 技師長)
15:00-15:15 休憩
15:15-15:45 「フッ素プラズマエッチングによるSiCの微細加工」
松谷晃宏 (東京工業大学 技術部 半導体MEMSプロセス技術センター センター長)
15:45-16:05 「分子線エピタキシーによる薄膜作製に関して」
赤堀誠志(北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター 准教授)
16:05-16:25 「阪大産研ナノ加工室の紹介」
榊原昇一 (大阪大学産業科学研究所 技術室 計測班、分析・データ処理係長)
16:25-16:35 休憩
16:35-16:55 「イメージリバーサルフォトレジストを用いたSiNメンブレンへのパターニング」
高田紀子(分子科学研究所 装置開発室)
16:55-17:15 「阪大産研試作室の紹介」
松下雄貴 (大阪大学産業科学研究所 技術室 工作班、機械回路工作係員)
18:00- 交流会
 
二日目
9:00-9:20
「導入した成形機によるガラス成形の検討」
笠晴也(北海道大学 電子科学研究所 技術部)
9:20-9:40 「溶液プロセスを用いたSiC薄膜の評価」
村上達也(北陸先端科学技術大学院大学 技術サービス部)
9:40-9:55 「レーザー露光装置における露光状態の改善について」
齋藤清範(名古屋大学全学技術センター 工学系技術支援室 装置開発技術系)