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イベント

「微細加工に関する技術サロン会」

  分子科学研究所 装置開発室では、機械加工や回路工作技術に加えリソグラフィ による微細加工を行っています。PDMS樹脂によるマイクロ流路に始まり、現在で は、金属のスパッタ成膜によるスリットや電極パターンの製作、ウェットエッチ ングによるガラス流路の製作など、技術の幅が徐々に広がってきました。本会は、 各研究機関で微細加工に関わる研究者や技術職員をお招きし、意見交換や技術交 流を行うことで、微細加工技術のさらなるレベルアップを図ることを目的として います。

開催要領

日時 平成28年11月15日(火)、16(水) 午後1時半から
場所 分子科学研究所 研究棟2階 201室
聴講料 無 料
事前申込 不 要

           

プログラム

一日目
13:30-13:35
開会の挨拶
      近藤 聖彦(分子科学研究所)
13:35-14:35 「プロセスプラズマ技術の基礎と応用」
      中野 博彦(サムコ株式会社 製品技術部長)
14:35-14:50 休憩
14:50-15:20 「Deep-RIEにおけるエッチング側壁の組成分析」
    松谷 晃宏(東京工業大学)
15:20-15:50 「宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームの紹介と宇宙研でのデバイス作製について」 
     宮地 晃平(宇宙航空研究開発機構)
15:50-16:05 休憩
16:05-16:35 「半導体ナノワイヤの作製」
赤堀 誠志(北陸先端科学技術大学院大学)
16:35-17:05 「可視域で低損失なシリコンナイトライド薄膜の作製」
笠 晴也(北海道大学)
17:05-17:35 「サロン会の今後」について意見交換
17:45- 交流会
 
二日目
9:00-9:30
「蒸着用ニッケルマスクの作製」
榊原 昇一(大阪大学)
9:30-10:00 「測定機の違いによる金属薄膜の厚さ測定検証」
木村 幸代(分子科学研究所)
10:00-10:15 休憩
10:15-10:45 「微細加工によるぬれ性制御」
生田 竜也(九州大学)
10:45-11:15 「ウェットエッチングによる製作事例」
高田 紀子(分子科学研究所)
11:15- 見学「3Dプリンタによる分子模型の製作」