イベント
「微細加工に関する技術サロン」
分子科学研究所 装置開発室では、機械加工や回路工作技術に加えリソグラフィ による微細加工を行っています。PDMS樹脂によるマイクロ流路に始まり、現在で は、金属のスパッタ成膜によるスリットや電極パターンの製作、ウェットエッチ ングによるガラス流路の製作など、技術の幅が徐々に広がってきました。本会は、 各研究機関で微細加工に関わる研究者や技術職員をお招きし、意見交換や技術交 流を行うことで、微細加工技術のさらなるレベルアップを図ることを目的として います。
開催要領 |
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| 日時 | 平成28年11月15日（火）、16（水） 午後1時半から |
| 場所 | 分子科学研究所 研究棟2階 201室 |
| 聴講料 | 無 料 |
| 事前申込 | 不 要 |
プログラム |
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| 一日目 13：30-13：35 |
開会の挨拶 近藤 聖彦（分子科学研究所） |
| 13：35-14：35 | 「プロセスプラズマ技術の基礎と応用」 中野 博彦（サムコ株式会社 製品技術部長） |
| 14：35-14：50 | 休憩 |
| 14：50-15：20 | 「Deep-RIEにおけるエッチング側壁の組成分析」 松谷 晃宏（東京工業大学） |
| 15：20-15：50 | 「宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームの紹介と宇宙研でのデバイス作製について」 宮地 晃平（宇宙航空研究開発機構） |
| 15：50-16：05 | 休憩 |
| 16：05-16：35 | 「半導体ナノワイヤの作製」 赤堀 誠志（北陸先端科学技術大学院大学） |
| 16：35-17：05 | 「可視域で低損失なシリコンナイトライド薄膜の作製」 笠 晴也（北海道大学） |
| 17：05-17：35 | 「サロン会の今後」について意見交換 |
| 17：45- | 交流会 |
| 二日目 9：00-9：30 |
「蒸着用ニッケルマスクの作製」 榊原 昇一（大阪大学） |
| 9：30-10：00 | 「測定機の違いによる金属薄膜の厚さ測定検証」 木村 幸代（分子科学研究所） |
| 10：00-10：15 | 休憩 |
| 10：15-10：45 | 「微細加工によるぬれ性制御」 生田 竜也（九州大学） |
| 10：45-11：15 | 「ウェットエッチングによる製作事例」 高田 紀子（分子科学研究所） |
| 11：15- | 見学「3Dプリンタによる分子模型の製作」 |